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      鈦靶
      圖片名稱:鈦 靶<br>添加時間:2016-05-05 1:16:54<br>瀏覽次數:1
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      1. 產品簡介

      鈦含量≥:99.8(%)雜質含量:0.02(%)     
      牌號: TA1,TA2,TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)   

      鈦圓靶 :技術條件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97  

      鈦板靶 :技術條件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93 

      用途:用于半導體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業

      2. 產品規格

      圓靶:常用規格:60/65/95/100*30/32/40/45mm
      板靶:(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
      管靶: 70mm * 7mm/10mm

      3. 材質
      TA1(Grade 1)、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6


      4. 性能標準

      化學成分符合 GB/T 3621-2007,GB/T 2965-2007,GB/T 3625-2007 等標準。


      5. 標準值

      化學成分參考標準

      牌號

      Al

      V

      N≤

      C≤

      H≤

      Fe≤

      O≤

      其他元素(單一)

      其他元素(總和)

      TA1

       

       

      0.03

      0.08

      0.015

      0.20

      0.18

      0.1

      0.40

      TA2

       

       

      0.03

      0.08

      0.015

      0.30

      0.25

      0.1

      0.40

      TC4

      5.5-6.75

      3.5-4.5

      0.05

      0.08

      0.015

      0.30

      0.20

      0.1

      0.40


      機械性能參考標準

      牌號

      室溫下力學性能,不小于

      抗拉強度

      屈服強度

      伸長率

      斷面收縮率

      TA1

      240 MPa

      170MPa

      25%

      30%

      TA2

      345MPa

      275 MPa

      20%

      30%

      TC4

      895MPa

      825 MPa

      10%

      20%




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